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徐州博康信息化學(xué)品有限公司年產(chǎn)1406噸光刻材料及152噸光刻膠技改項(xiàng)目備案
  發(fā)布日期:2024-09-23

9月14日,據(jù)采招網(wǎng)信息,徐州博康信息化學(xué)品有限公司年產(chǎn)1406噸光刻材料及152噸光刻膠技改項(xiàng)目備案。

徐州博康信息化學(xué)品有限公司成立于2010年,主營中高端光刻膠及相關(guān)原材料產(chǎn)研銷。公司目前在江蘇邳州、浙江東陽有兩個生產(chǎn)基地,其中邳州基地于2021年上半年完成建設(shè)已正式投產(chǎn),具備1100噸光刻材料及10000噸電子級溶劑產(chǎn)能。

產(chǎn)品方面,徐州博康已成功開發(fā)ArF/KrF單體及光刻膠、I線光刻膠、封裝光刻膠、電子束光刻膠等系列產(chǎn)品。

ArF產(chǎn)品方面,公司具備干法ArF及濕法ArF光刻膠的技術(shù)能力。干法ArF可應(yīng)用于90nm/65nm/55nm節(jié)點(diǎn)。濕法ArF可應(yīng)用于40nm/28nm節(jié)點(diǎn),14nm及以下工藝正在研發(fā)中。公司目前形成銷售的 Arf 光刻膠有 7 款,其中 1 款 ArF 產(chǎn)品在 12 寸 fab 廠批量供應(yīng),是同類型國產(chǎn)光刻膠企業(yè)中ArF光刻膠商業(yè)化進(jìn)程最快的企業(yè)。

KrF產(chǎn)品方面,在研和配方定型光刻膠有 34 款產(chǎn)品,其中,高分辨的 KrF 光刻膠,最小分辨率可達(dá) 120nmCD,產(chǎn)品可應(yīng)用于 14nm-180nm 制程中。公司目前有20余款KrF光刻膠正在客戶端進(jìn)行產(chǎn)品驗(yàn)證導(dǎo)入量產(chǎn),形成銷售的有16款,其中2款在國內(nèi)大廠批量供應(yīng)。

作為國內(nèi)少有能打通光刻膠上游材料的全產(chǎn)業(yè)鏈公司,徐州博康的聚合與提純工藝也是其核心競爭力之一。目前:(1)光刻膠單體已經(jīng)研發(fā)近 80 余款,2022 年以來新開發(fā) 30 余款單體。(2)光刻膠樹脂已經(jīng)研發(fā) 50 多款。(3)光敏劑已經(jīng)研發(fā)超過 150 款。

此前在2023年12月,徐州博康與華懋科技簽訂了股權(quán)轉(zhuǎn)讓協(xié)議,收購了其持有的東陽華芯51%的股權(quán)。徐州博康通過控股東陽華芯,使得徐州博康產(chǎn)品線更加完善。2022年7月,東陽華芯建設(shè)“年產(chǎn)8000噸光刻材料新建項(xiàng)目”事項(xiàng),項(xiàng)目規(guī)劃年產(chǎn)8000噸光刻材料,主要包括ArF光刻膠系列(包含單體和樹脂合成)、KrF光刻膠系列(包含單體和樹脂合成)等。

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