6月3日，省化工行業協會在南京組織召開徐州博康信息化學品有限公司、北京航空航天大學、東南大學、中國科學院微電子研究所、清華大學、南京理工大學聯合研發的“面向先進工藝節點的深紫外光刻膠關鍵技術”科技成果鑒定會。
該項目采用“單體設計—光酸調控—樹脂合成—配方集成—制程適配—性能評估”全鏈條研發模式，突破對單體/光酸的分子設計與合成技術、樹脂聚合與結構調控技術、以及電子級原材料的高純化與痕量金屬控制等技術。系列光刻膠產品已在多家晶圓廠及器件企業成功導入；性能達到國外企業同類產品標準，產品綜合性能達到了國際先進水平。
以南京大學葉建東教授為首的鑒定委員會一致同意該項目通過科技成果鑒定。
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